标题：日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 耐腐蚀
产品概述
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 耐腐蚀
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 耐腐蚀
通过高温领域的泵体均热化，实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出的一款泵。
高温区域均热化
实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。
UR系列可比HR系列更加高温化。
氦气密封
通过搭载屏蔽电动机形成密闭结构，非常安全。
瞬停对策
采取了1000msec以内瞬停对策。
出色的耐腐蚀性
主要零部件均采用表面硬度高、高耐腐蚀性的特殊表面处理。降低腐蚀性气体排气时对泵内部的腐蚀。
通信功能
可读取与泵运转状态相关的数据、警告/报警履历。如果使用专用软件进行计算机通信，则可实现集中监控。
CVD装置
蚀刻装置
灰化装置
ALD、ALH 等
| 型号 | UR421-T | UR600 | UR1200 | UR1800 | UR3601-TT | ||||
| 使用泵 | 干式真空泵 | UR421-T | UR90 | UR90 | UR180 | UR421-T | |||
| 机械增压泵 | - | PRC-006A | PRC-012A | PRC-018A | PRC-036C-T | ||||
| 最大 排气速度 | 50Hz | 410 m3/h (6833 L/min) | 653 m3/h (10883 L/min) | 1012 m3/h (16867 L/min) | 1701 m3/h (28350 L/min) | 2700 m3/h (45000 L/min) | |||
| 到达压力 | 5.0 Pa | ||||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | ||||||||
| 最大排气口压力 （排出圧力） | 1.0~ 大气压 Pa | ||||||||
| 吸气口 (CE规格) | VG100 | VG80(NW80) | VG100(NW100) | VG150(NW100) | VG150 | ||||
| 排气口 | VG50 | NW40 | NW50 | ||||||
| 质量 | 415 kg | 370 kg | 403 kg | 553 kg | 720 kg | ||||
| 电源 *2 | 三相 | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | 200 VAC(50/60 Hz) /220 VAC(60 Hz) | 180～240 VAC/ 380～440 VAC (50/60 Hz) | |||||
| 电流值 | 稳定时 | 23 A(at 200V) | 16.4 A(at 200V) | 18.9 A(at 200V) | 29.2 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | 39.8 A(at 200V) 20.5 A(at 400V) | |||
| 最大值 | 52.5 A(at 200V) | 17.3 A(at 200V) | 22. 4 A(at 200V) | 34.9 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | 68.3 A(at 200V) 40.5 A(at 400V) | ||||
| 冷却水一次压力 | 0.2~0.5 Mpa | 0.1~0.3 Mpa | 0.2~0.5 Mpa | ||||||
| 冷却水出入口压差 | >0.2 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.1 Mpa | >0.2 Mpa | ||||
| 冷却水流量 | >5.0 L/min | ||||||||
| 吹扫气 | 一次压力 | 0.1~0.5 Mpa | |||||||
| 二次压力 | 0.05~0.1 Mpa | ||||||||
| N2吹扫 | 轴 | 5 SLM | |||||||
| 气镇 | 0~195 SLM | 0~45 SLM | 0~195 SLM | 0~195 SLM | |||||
*1:请勿在UR600、UR1200、UR1800、UR3601-TT大于压力值200Pa的情况下进行连续运
* 没有登载规格一览表上的UR系列请另行确认
■运转方式
| 干式真空泵运转方式 | 1 | 2 | 3 | |||||
| N2 流量 | SLM | 0 | 5 | 5~50*1 | ||||
ULVAC 厂商介绍：
1952 年 ULVAC 成立时，它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司，他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。
自成立以来，ULVAC一直珍视这种创业精神，并与广泛行业的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板显示器、半导体和电子元件，以及汽车、食品和药品等一般工业设备，ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。
追求真空技术创造新价值
ULVAC集团是一家企业集团，为广泛的行业全面提供各种真空技术，包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。
在 ULVAC 集团内，零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。
通过与客户的沟通，共创繁荣的未来
ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。
尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大，但其冒险精神始终没有改变。
ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神，以速度感响应各领域的需求，为工业和科学的发展做出贡献。
零部件事业部
ULVAC株式会社 零部件事业部
爱发科机工株式会社
爱发科低温有限公司
爱发科（宁波）有限公司
韩国爱发科低温公司
爱发科低温技术（宁波）有限公司
爱发科销售有限公司
爱发科科技有限公司
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