标题：日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 真空干燥
产品概述
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 真空干燥
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 真空干燥
可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。
适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。
感应电机可通用
可以安装防爆电机等特殊电机（可选）
采用多电压兼容电机
空气、惰性气体等洁净气体的真空排气
各种成膜设备放入取出室的真空排气
真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业
真空气体置换，如真空热隔绝和气体填充
| 型号 | GR60A | GR90A | GR180A | |||||
| 最大排气速度 | 50Hz | m3/h(L/min) | 62(1030) | 112(1030) | 183(3100) | |||
| 60Hz | m3/h(L/min) | 80(1333) | 126(2100) | 237(3850) | ||||
| 极限压力 *1 | Pa | 5.0 | ||||||
| 最大排气压力（吸入圧力） | 大气压 | |||||||
| 最大排气口压力（排出圧力） | Pa | 1.0 ~ 大气压 | ||||||
| 吸气口 | VG50 | VG80 | ||||||
| 排气口 | NW40 | |||||||
| DRP表面处理 | 〇 | |||||||
| 电机 | 输出 [kW] | 2.2 | 3.7 | 7.5 | ||||
| 电压 [V] | 50Hz | 200~240/380~415 | ||||||
| 60Hz | 200~240/380~460 | |||||||
| 质量 | kg | 128 | 188 | 268 | ||||
| 冷却方式 | 冷却水 一次供给压力 | MPa | 0.1~0.3 | |||||
| 冷却水 出入口压差 | MPa | >0.1 | ||||||
| 冷却水温度 | ℃ | 10~30 *2 | ||||||
| 冷却水流量 | L/min | >5.0 | ||||||
| 氮气 | 一次侧 供给圧力 | MPa | 0.1~0.5 | |||||
| 二次侧 调整圧力 *3 | MPa | 0.05 to 0.1 (运作时) | ||||||
| 轴 | SLM | 5.0 *4 | ||||||
*1 极限压力是氮气（轴封气体）为5.0 SLM时的值。
*2 不结露。
*3 通过调节器调节压力计值。
*4 氮气（轴封气体）的流量固定为5.0SLM。
ULVAC 厂商介绍：
1952 年 ULVAC 成立时，它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司，他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。
自成立以来，ULVAC一直珍视这种创业精神，并与广泛行业的合作伙伴制造商合作，包括液晶平板显示器、半导体和电子元件，以及汽车、食品和药品等一般工业设备，ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。
追求真空技术创造新价值
ULVAC集团是一家企业集团，为广泛的行业全面提供各种真空技术，包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。
在 ULVAC 集团内，零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。
通过与客户的沟通，共创繁荣的未来
ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。
尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大，但其冒险精神始终没有改变。
ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神，以速度感响应各领域的需求，为工业和科学的发展做出贡献。
零部件事业部
ULVAC株式会社 零部件事业部
爱发科机工株式会社
爱发科低温有限公司
爱发科（宁波）有限公司
韩国爱发科低温公司
爱发科低温技术（宁波）有限公司
爱发科销售有限公司
爱发科科技有限公司
关于我们
公司简介荣誉资质资料下载产品展示
爱安德现货日本 RF-400-01半导体氧化锆氧气浓度计 爱安德LC-750L-日本到货!高性能氧气浓度计 爱安德热卖！TORAY东丽LC-750L氧化锆氧气浓度计 爱安德新款TORAY东丽 LC-860氧化锆氧气浓度计 爱安德TORAY氧 LC-860氧气分析仪RF400酸素浓度计服务与支持
技术文章新闻中心联系我们
联系方式在线留言版权所有 © 2024 爱安德商贸（深圳）有限公司 备案号：粤ICP备2023071497号-3
技术支持：化工仪器网 管理登陆 sitemap.xml
电话：TEL
地址：ADDRESS
扫码关注我们
产品分类
我的位置：
产品型号：
上一篇：
在线咨询
返回顶部