标题:日本ULVAC爱发科 真空隔断 罗茨泵
产品概述
日本ULVAC爱发科 真空隔断 罗茨泵
日本ULVAC爱发科 真空隔断 罗茨泵
PMB系列Ver.D是通用型罗茨泵。可以选择表面处理或大气压驱动型,可以在空冷下运转。
通过安装空冷逆变器,可在整个压力范围内进行空冷运作。
可选多电压电机(200V级,多电压)
与通用电机兼容,因此也可以安装防爆电机(选件)。
表面处理,具有优异的耐腐蚀性(选项:T型)
主要部件采用阳极氧化铝处理,具有高表面硬度和优异的耐腐蚀性,并可防止泵内部的划伤和腐蚀。
大气压驱动型(选件:变频器)有效减少排气时间
可以与粗抽泵同时启动,与标准型相比,可以减少排气时间。
蒸着、溅射、离子电镀
真空干燥、冷冻干燥、真空脱气
分析设备、检漏设备
气体置换、充填、真空隔断
热处理炉、溶解炉
其他各种真空设备
型号*1 | PMB100D | PMB300D | PMB600D | PMB1200D | PMB2400D | ||||
最大排气速度 | 50 Hz | m3/h (L/min) | 95 (1,580) | 280 (4,670) | 500 (8,330) | 1,000 (16,667) | 2,000 (33330) | 2,500 (41,667) | |
60 Hz | 115 (1,920) | 330 (5,500) | 600 (10,000) | 1200 (20,000) | 2,400 (40,000) | 3,100 (51,667) | |||
最大吸氣壓力 | 50 Hz | Pa | 9.3×103 | 1.2×103 | 1.3×103 | 2.0×103/8.0×102 | |||
60 Hz | 6.2×103 | 9.3×102 | 1.1×103 | 1.5×103/6.7×102 | |||||
最大允許壓差 | 50 Hz | Pa | 8.0×103 | 4.0×103 | 7.3×103 | 3.5×103/4.7×103 | |||
60 Hz | 5.6×103 | 3.3×103 | 6.0×103 | 3.0×103/4.7×103 | |||||
到达压力 *2 | Pa | 4.0×10-1 | 6.7×10-1 | ||||||
容許驅動壓力 | Pa | ~1.0×105 ( 大气压开始型 ) | |||||||
电机 *3 | 出力 | kW (poles) | 0.4(2) | 0.75(2) | 2.2(2) | 3.7(2) | 7.5(2) | ||
200V 級 | 50 Hz | V | 200 | ー | |||||
60 Hz | 200/220 | ー | |||||||
多电压 电机 | 50 Hz | V | 220~240 / 380~415 | 200~240/380~415 | |||||
60 Hz | 208~240 / 380~460 | 200~240/380~460 | |||||||
液压油 *4 | ULVOIL R-42 | ||||||||
油量 | L | 0.35 | 0.7 | 1.5 | 1.9 | 4 | |||
冷卻方式 *5 | 空冷 | 空冷 / 水冷 | |||||||
冷却水 | 一次側壓力 | Mpa | ー | 0.3 | |||||
吸气/ 排气口壓差量 | Mpa | ー | 0.05 | ||||||
冷却水量 | L/min | ー | 2 | 3 | |||||
水温 *6 | ℃ | ー | 5~30 | ||||||
吸气口 JIS B 2290 | VG50 相当 | VG80 相当 | VG100 相当 | VG200 相当 | |||||
排气口 JIS-B-2290 | VF50 相当 | VF80 相当 | VF200 相当 | ||||||
外直径(尺寸) | mm | 267×576×180 | 321×685×260 | 362×784×320 | 417×970×340 | 520×1260×460 | |||
重量 *7 | kg | 26 | 51 | 82 | 115 | 260 | |||
標準粗抽泵 | VD401 | VD601 | VD901 | VS2401 | PKS-070B | VS650B | |||
符合规格 | CE, cTUVus | ||||||||
选配件 | 未经表面处理的泵,紧定法兰,大气压启动类型(逆变器), 合成油或氟油类型,润滑腔排空口,不同电压电机 | ||||||||
大气压驱动变频器规格/ 电压兼容 | 200V 级 | I2,A2/200V~240V(50Hz/60Hz) | |||||||
400V 级 | I4,A4/380V~480V(50Hz/60Hz) |
Note)此目录使用 SI单位系统。 使用非 SI单位制的转换如下。
4.0 x 10-1 Pa = 3.0 × 10-3 Torr
*1 标准产品没有表面处理(阳极氧化涂层)。您也可以选择表面处理作为选项。
*2 用皮拉尼真空计测定。 测量条件 : 标准后备泵和标准真空油。
( 使用 McLeod 真空计测量时约为 4.0×10-2 Pa。)
*3 只有 PMB100D 可以选择 200V级或多电压的电动机。 不能使用防爆电动机的多电压选择。
*4 空冷式的使用油是R-72。还可选矿物油R-72、氟油J25F。
*5 通过选择变频器安装型号,将能够在整个压力范围内运行。
订购变频器规格时,请确定空冷或水冷规格。水冷逆变器无法进行空冷运行。
对于PMB600D,1200D和2400D,在300 Pa至4,000 Pa的压力范围内连续运行超过1小时可能会损坏泵。
在这种情况下,请选择水冷规格。
*6 在无结露的环境中使用。
*7 有关其他尺寸,请访问ULVAC网站并参考发布的CAD数据。
ULVAC 厂商介绍:
1952 年 ULVAC 成立时,它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司,他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。
自成立以来,ULVAC一直珍视这种创业精神,并与广泛行业的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板显示器、半导体和电子元件,以及汽车、食品和药品等一般工业设备,ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。
追求真空技术创造新价值
ULVAC集团是一家企业集团,为广泛的行业全面提供各种真空技术,包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。
在 ULVAC 集团内,零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。
通过与客户的沟通,共创繁荣的未来
ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。
尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大,但其冒险精神始终没有改变。
ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神,以速度感响应各领域的需求,为工业和科学的发展做出贡献。
零部件事业部
ULVAC株式会社 零部件事业部
爱发科机工株式会社
爱发科低温有限公司
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