标题:日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 节能型
产品概述
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 节能型
日本ULVAC爱发科 多级罗茨型干泵 节能型
对节能的贡献
干泵的耗电量最大可减少80%(与本公司产品相比)。
此外,还有抑制干泵发热作用,降低空调设备的电力消耗。
*不能用作抽排易燃、助燃、有毒性气体等的泵。
干泵的性能改进有望提高极限压力性能
可降低排气噪音
所有压力范围内,排气速度均不会下降
在1000Pa以下连续运转时间较长的用途下有非常好的效果
*可安装在即使排气口为真空也毫无问题的干泵上。
安装简单
用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵用于排出空气,氮气,氩气等惰性气体的干泵
溅射设备等的loading/unloading室用的干泵
型式 | ES10 | ES4A | |||
电源 | 规格 | 单相 AC100~220V 50/60Hz | 单相 AC200~220V±5% 50/60Hz | ||
最大功耗 | 65W *1 | 400W | |||
控制 | 输入 | 远程启动/停止(接点 DC24V有電圧) 接点容量2.0A以上请准备无电源接点 *2 | |||
输出 | 过电流报警输出(接点 无电圧) 接点容量:DC24V 1.0A | 启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
显示 | 运作时间显示 | 运作时间、启动确认、省电确认、本体警报、过电流警报 | |||
外观尺寸 | 本体单元 | 175mm×310mm×240mm | 250mmx475mmx373mm | ||
阀单元 | Φ66mm×110mm(NW40) *3 | 选项 | |||
质量 | 本体单元:8.3kg 阀单元:800g | 32kg | |||
质量 | G1/4" (INLET、OUTLET) 已安装连接器 | Φ16mm管接头( 推荐管的长度为1.5m以内) |
弊社泵型号 | LR1800 | LR3601-R | ||
排气速度*1 | 罗茨泵 | 1784m3/hr(29700L/min) | 3200m3/hr(53333L/min) | |
干泵 | 237m3/hr(3950L/min) | 440m3/hr(7333L/min) | ||
平均功耗*2,3 | 极限压力运作时 | 没有 | 6.0kW | 7.8kW |
ES4A安装时 | 2.7kW | 3.2kW | ||
消减率 | 55% | 59% | ||
反复排气时 *4 | 没有 | 7.2kW | 9.6kW | |
ES4A安装时 | 5.7kW | 6.3kW | ||
消减率 | 21% | 34% |
*1 电源频率60Hz
*2 密封气体5SLM
*3 包含ECO-SHOCK ES4A功耗
*4 300L腔室反复排气60秒节拍的测量示例。
型号名称 | LR60 | LR90 | LR180 |
排气速度*1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min |
实测功耗*2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW |
ECO-SHOCK安装后的实测功耗*2 *3 *4 | 0.7kW | 1.0kW | 1.6kW |
电力消减率 | 67% | 72% | 76% |
*1 电源频率60Hz
*2 功耗为极限压力时的代表值
*3 包括ECO-SHOCK的功耗
*4 密封气体、吹扫气体流量0Pa・m3/s时。取决于密封气体、吹扫气体流量
ULVAC 厂商介绍:
1952 年 ULVAC 成立时,它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司,他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。
自成立以来,ULVAC一直珍视这种创业精神,并与广泛行业的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板显示器、半导体和电子元件,以及汽车、食品和药品等一般工业设备,ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。
追求真空技术创造新价值
ULVAC集团是一家企业集团,为广泛的行业全面提供各种真空技术,包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。
在 ULVAC 集团内,零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。
通过与客户的沟通,共创繁荣的未来
ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。
尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大,但其冒险精神始终没有改变。
ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神,以速度感响应各领域的需求,为工业和科学的发展做出贡献。
零部件事业部
ULVAC株式会社 零部件事业部
爱发科机工株式会社
爱发科低温有限公司
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韩国爱发科低温公司
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