标题:日本ULVAC爱发科 螺杆型干泵 轻工艺用途
产品概述
日本ULVAC爱发科 螺杆型干泵 轻工艺用途
日本ULVAC爱发科 螺杆型干泵 轻工艺用途
LS系列真空泵被归为螺杆型干式真空泵。以往要提高排气速度就要消耗大量电能,我们通过螺杆形状和节电技术的融合,使该系列产品成为兼顾高速排气和低功耗的干式真空泵。
■大气压附近的排气速度最大为80m3/h,与以往的真空泵相比,排气时间可缩短约20%。
■标配的专用消音器能解决干式真空泵的噪音问题。极限压力时的噪音值在61dB(A)以下,
这是一个在运转过程中也不会打扰到您的噪音等级(*1))
■C规格标配的ECO-SHOCK技术是一种省电的爱发科技术。
该技术可将极限压力下的消耗电量降到0.6kW以下(*2)
■LS系列无需轴封气体。以氮气和空气等的排气为主的清洁工艺可降低运行成本(*3)
■希望进一步提高排气速度的话,建议您搭配机械增压泵使用。
通过组合使用排气速度可以达到120~1200m3/h。
(*1)LS120A-C时
(*2)C规格时
(*3)L规格还可以使用稀释气体。
LS系列有两种规格。
首先是面向清洁工艺的规格。
为内置ECO-SHOCK的低功耗型,适于空气排气和N2排气等清洁工艺用途。
具体来说,包括溅射、镀膜、贴合/load lock室/TMP辅助等。
其次是面向轻工艺的规格。
具有表面处理和净化功能,适于水蒸汽和挥发性药液排气等轻工艺用途。
具体来说诸如真空干燥、冷冻干燥、灰化和一般工业用途等。
型式 | (C:C式样) (L:L式样) | LS120A | LS300A | LS600A | LS1200A | ||||
C | L | C | L | C | L | C | L | ||
最大排气速度 | m3/h | 120 | 380 | 600 | 1000 | ||||
到达压力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | ||||||
电源电压 | 200V級:3相、50/60Hz、AC200-240V 或 400V級:3相、50/60Hz、AC380-480V | ||||||||
消费电力 概略值 *1 | kW | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 |
冷却水量 | L/min | >2.0 | >4.0 | ||||||
Purge gas 量 *2 | SLM | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 | ‐ | 0~50 |
最大水蒸气 处理量 *3 | kg/h | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 | ‐ | 1.5 |
噪音值*1 | dB(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | ||||
吸气口 | KF50(水平)/ VG50(垂直) | ISO-F-50 | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |||||
排气口 | KF40 | KF40 | KF40 | KF40 | |||||
质量 | kg | 142 | 220 | 242 | 266 | ||||
适用规格 | CE、cTUVus | ||||||||
标准附属品 | 电源用连接器、防水电缆夹、信号用连接器、电源连接保护器 | ||||||||
本体选配件 | 电源电压:200V级或400V级、密封部材质:全氟弹性体(仅用于L型) | ||||||||
外部选配件 | MBP吸气口变换Flange、外壳排气Port、耐震固定用金属、LR互换Unit(吸气口、信号)、 Gas purge |
*1:到达压力时
*2:C式样不可流通Purge gas
*3:Purge gas使用时的最大水蒸气处理量
Note)C式样不可对应无漏
ULVAC 厂商介绍:
1952 年 ULVAC 成立时,它是一家由年轻工程师在六位天使投资人的支持下创建的风险投资公司,他们希望“通过真空技术为工业和科学的发展做出贡献"。
自成立以来,ULVAC一直珍视这种创业精神,并与广泛行业的合作伙伴制造商合作,包括液晶平板显示器、半导体和电子元件,以及汽车、食品和药品等一般工业设备,ULVAC接受了利用技术进行创新并努力创造新价值的挑战。
追求真空技术创造新价值
ULVAC集团是一家企业集团,为广泛的行业全面提供各种真空技术,包括真空设备、真空设备、材料、分析设备和客户解决方案。
在 ULVAC 集团内,零部件业务部门是一组负责开发、制造和销售构成真空设备的各种真空设备的公司。真空设备的性能是由这些追求真空技术的真空设备支撑的。
通过与客户的沟通,共创繁荣的未来
ULVAC还希望通过与客户的沟通来支持新的业务领域和不断发展的技术。
尽管ULVAC现在的组织比成立时规模更大,但其冒险精神始终没有改变。
ULVAC将继续利用集团的集体力量和创新精神,以速度感响应各领域的需求,为工业和科学的发展做出贡献。
零部件事业部
ULVAC株式会社 零部件事业部
爱发科机工株式会社
爱发科低温有限公司
爱发科(宁波)有限公司
韩国爱发科低温公司
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