标题：HORIBA堀场 扁平碳传感器型 电导率计
产品概述
HORIBA堀场 扁平碳传感器型 电导率计
HORIBA堀场 扁平碳传感器型 电导率计
通过保持适当的电导率值，浆料的稀释水平保持恒定，有助于晶圆抛光过程的稳定性。
| 产品名称 | 电导率仪 | |||
|---|---|---|---|---|
| 模型 | HE-960LF | |||
| 测量方法 | 2 电极电导率测量 | |||
| 温度传感器规格 | 测温电阻1000Ω（0℃时） | |||
| 测量范围 | 电池常数 | 0.1/cm时 | 1.0/cm时 | |
| 电导率仪 | 0.00～20.00μS/cm | 0.0～200.0μS/cm | ||
| 0.0～200.0μS/cm | 0～2000μS/cm | |||
| 0～1000μS/cm | 0～10000μS/cm | |||
| *通过改变温度补偿前的电导率测量范围设置来切换范围 | ||||
| 温度 | 0～100℃ 但根据传感器规格（小数点后可选择1位或2位） | |||
| 浓度换算 | 可选 1、2 | 0至10.000%（转换公式由用户设定） | ||
| 重复性 | 电池常数 | 0.1/cm时 | 1.0/cm时 | |
| 电导率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范围 | ±0.5% 满量程以内 | |
| 0.0～200.0μS/cm范围 | 0～2000μS/cm范围 | |||
| 0～1000μS/cm范围 | 0～10000μS/cm范围 | ±1.0%满量程以内 | ||
| 温度 | ±0.5℃以内 | |||
| 状况 | 具有等效输入 | |||
| 线性度 | 电池常数 | 0.1/cm时 | 1.0/cm时 | |
| 电导率 | 0.00～20.00μS/cm量程 | 0.0～200.0μS/cm范围 | ±0.5% 满量程以内 | |
| 0.0～200.0μS/cm范围 | 0～2000μS/cm范围 | |||
| 0～1000μS/cm范围 | 0～10000μS/cm范围 | ±1.0%满量程以内 | ||
| 温度 | ±0.5℃以内 | |||
| 任意浓度 | 具有等效输入 | |||
| 变速输出 | 输出点数：4点 DC4-20mA/0-20mA 输入输出隔离型 最大负载电阻：900Ω 变送输出范围：在测量范围内任意设定 （各变送输出负端内部连接，具有相同的潜力） | |||
| 接点输出 | 输出点数：5点 报警接点输出（R1至R4） 接点类型：继电器接点、SPST(1a) 接点容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A（电阻负载） 接点功能：各测量对象上、下限动作（ON/OFF控制）、延迟时间 接点动作：动作时间、常开（包括断电） （但R1、R2、R3为COMMON接点共用） 报警接点形式：继电器接点、SPST (1c) 接点容量：AC 240 V 1 A、DC 30 V 1 A（电阻负载） 接点功能：从错误、异常报警、维护中选择 接点动作：使用 C-NO 时，正常时闭合，异常时闭合状态（包括断电） 开路 （C 和 NC 触点状态相反） （但 COMMON 触点是 R4 和 RF 公共的） | |||
| 接点输入 | 输入点数：1点 | |||
| 输入形式：集电极开路无电压a接点 | ||||
| 接点功能：传送输出保持 | ||||
| 通讯输出 | RS-485输入/输出 | |||
| 校准功能 | 通过输入电导池常数校正系数（参数输入） 与温度参考温度计进行比较校准 | |||
| 传送输出保持功能 | 选择前一个值保持或任意值保持 （但是，在维护模式下，将保持前一个值） | |||
| 自诊断功能 | 传感器诊断（温度传感器短路、温度传感器断线）转换器故障 | |||
| 电导率温度补偿 | ●输入任意温度系数（参考温度：5～95℃，温度系数：0～5%/℃） ●输入任意温度补偿公式（补偿公式由用户设定） ●无温度补偿 | |||
| 温度补偿范围 | 0至100℃（但是，温度低于0℃和高于100℃时，计算范围会扩大） | |||
| 环境温度 | 5～45℃ | |||
| 相对温度 | -25～65℃ | |||
| 电源 | 额定电压 DC24V 10W（最大） | |||
| 结构 | 面板安装 室内安装类型 面板外壳：ABS，端子部分：PBT 面板部分防滴结构 | |||
| 兼容标准 | CE标志 | EMC 指令：EN61326-1 | ||
| FCC法规 | FCC 第 15 部分 | |||
| 大量的 | 约550克 | |||
| 外形尺寸 | 96（宽）× 96（高）× 115（深）毫米 外壳深度：约 105 毫米（安装在面板上时） | |||
| 兼容传感器 | FS-09F-1/2 | |||
| 格式 | FS-09F-1/2 | FS-09F-1/2-200 |
|---|---|---|
| 液接部材料 | 玻碳 PFA Kalrez® | |
| 配管尺寸 | 1/2 英寸 | |
| 样品流速 | 0～10L/min的流量没有影响 ，但要保证样液更换所需的流量和温度。 | |
| 样品压力 | 0～0.3MPa 但20～30℃ | |
| 样品温度 | 如果环境温度20～30℃ 与液体温度相差5℃，就会出现1℃左右的测量误差。 | |
| 电缆长度 | 约3.5m | |
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HORIBA Advanced Techno 是 HORIBA 集团内水和液体测量领域的专家团队。HORIBA的业务涵盖四个业务领域：环境解决方案、半导体工艺解决方案、生物工业和实验室/现场解决方案，并在水和液体测量领域提供各种服务和解决方案。 HORIBA 集团将 70 多年的水和液体测量技术知识整合到 HORIBA Advanced Techno 中，并将其业务领域扩展到快速增长的水市场，主要是在新兴国家。此外，除了现有的安装型解决方案之外，Horiba Advanced Techno提出的新解决方案，例如利用物联网的订阅业务，即使在发达国家也作为解决问题的方案而受到关注。
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