计测热销EBARA荏原高速排气用干式真空泵

描述：计测热销EBARA荏原高速排气用干式真空泵

产品介绍
ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合排气的20,000L/min～80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气，设计紧凑，并提供耐腐蚀材料选项，非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。大型机型在大排量的情

产品型号：ESA15-D
厂商性质：经销商
更新时间：2024-08-13
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产品详情/ PRODUCT DETAIL

标题：计测热销EBARA荏原高速排气用干式真空泵

产品概述

计测热销EBARA荏原高速排气用干式真空泵

可排气氢气等轻质气体的干式真空泵/大室高速排气

产品介绍

ESA型有适合排出氢气等轻质气体的排量1,400L/min～10,000L/min的型号，以及适合排气的20,000L/min～80,000L/min的排量型号。适合大型腔体的高速排气。 10,000L/min 或更低型号适用于轻质气体排气，设计紧凑，并提供耐腐蚀材料选项，非常适合 MO-CVD 等高流量轻质气体排气应用。大型机型在大排量的情况下仍能实现安静的噪音和低振动，并且还可以选择有机溶剂排气，使其成为液晶溅射设备、真空干燥工艺、大型负载锁等的理想选择。

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计测热销EBARA荏原高速排气用干式真空泵

可排气氢气等轻质气体的干式真空泵/大室高速排气

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