EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵

标题：EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵

产品概述

EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵

EBARA荏原高速排气用ESA25-D干式真空泵

可排气氢气等轻质气体的干式真空泵/大室高速排气

产品介绍

荏原株式会社（以下简称“荏原"）精机电子公司藤泽工厂今年5月干式真空泵累计出货量达到15万台。这是自1986年第一台机器发货以来，时隔32年取得的成就。

直到 20 世纪 80 年代，油旋转泵一直是半导体制造工艺中使用的主流真空泵，但随着对更清洁的真空环境的需求随着集成度的提高而增加，我们应用了我们的核心竞争力——旋转机械技术，我们已经将干式真空商业化。在与气体接触的部位不使用密封液的泵。我们的干式真空泵不仅能产生洁净的真空，而且采用非接触式密封结构，减少了维护频率。利用这些功能，应用目前已从半导体和显示器制造扩展到太阳能电池、LED、锂离子二次电池和各种分析设备等广泛的行业。

根据中期管理计划（E-Plan2019）的措施，荏原将在2019年之前启动生产效率大幅提高的干式真空泵全自动化工厂，深化与海外生产基地的合作，并继续响应半导体市场的稳定需求和各领域客户的要求。