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标题:目视晶圆缺陷YP-150I 400,000luxes照明装置
产品概述
目视晶圆缺陷YP-150I 400,000luxes照明装置
目视晶圆缺陷YP-150I 400,000luxes照明装置
产 品 特 点
1. 大于 400,000luxes的照明光线可容易检测出只有精密探测仪才可测出的瑕疵。(照射面积为 30mmdia).
2. 使用卤素灯作为光源,色温高达3400K,照光和颜色均一了稳定强光的照射。
3. 由于冷镜的使用,使得热影响与常规铝镜相比较少1/2 到 1/3
4. 光束直径由镜片调整30-50mm 之间调整
5. 底部开光,调整照明勘察器高度,操作简便,可控制光量
高强度卤素光源装置 是一种宏观观察照明装置,用于检测
最终成品表面上的各种缺陷,如异物、划痕、抛光不均匀、雾霾、滑移等,是工件加工过程中劳动强度最大的部分。半导体晶片和液晶基板
YP-150I 照度范围:30mmφ
YP-250I 照度范围:60mmφ
超精密平面检测的理想选择!通过惊人的照明,可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置,用于检测
最终成品表面上的各种缺陷,如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等,是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板
另外,由于采用卤素灯作为光源,色温高,
光照不均匀的情况很少,光照***稳定锐利。
姊妹机“YP-250I"也可用于 8 英寸。
光源采用卤素灯
■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3
■ 高照度观察和低照度观察可一键切换
请用于超精密平面检测!
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