标题:八光产业旋转导入机构XY平台ICF114-ICF114
产品概述
八光产业旋转导入机构XY平台ICF114-ICF114
八光产业旋转导入机构XY平台ICF114-ICF114
多功能 ICF70 或 ICF114 法兰尺寸使其易于设计和安装。
可用于超高真空领域。
移动距离为±5mm,可实现精确定位。
法兰尺寸 (上下) | ICF70-ICF70 | ICF70-ICF114 | ICF114-ICF114 |
真空密封方式 | 波纹管法 | ||
泄漏量 | 1.3 x 10-11Pa・m3 / sec 最大 | ||
行驶距离 | XY轴±5mm | ||
重量 | 1.8公斤 | 2.2公斤 | 4.3公斤 |
A-GAS扶桑 (FUSO被其收购)推:環境測定器
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